特点

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
• 能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计
• 流量范围宽 – 从3 sccm 一直到1000 slpm
• 耐高压等级 – 达 1,500 psi
• 可拆卸式流量传感器
• 不受安装角度影响
• 能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
• 电驱动阀*调
• 耐化学腐蚀阀门