型号 5850EMH / 5851EMH高温应用中高纯表现，Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制，具有多种选择，允许Z大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

特点

• 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
• 宽流速范围（0.003 – 100 slpm）
• 高纯度 VAR 316L 不锈钢
• 无磨粒
• 氦泄漏检查端口
• 常闭阀（可选常开阀）
• 电致动阀复位
• 低命令流量断流
• TTL 兼容”关阀”功能

优势

• 稳定、可靠的产品平台
• 高流量，达 100 lpm（N2 当量）
• 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
• 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修

应用

• 光纤制造——MCVD，OVD，AVD
• 水汽流量控制