特点

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
• 稳定时间短：<300 ms – <400 ms
• 满量程流速：3 sccm 至 5 slm
• 高纯度流路 – 4µ 英寸 Ra 表面处理
• 借助衰减率 (ROD) 技术实现的嵌入式实时流量故障检测与预测功能
• 加强过程气体测量精度 – Z大可提升三倍 – 经气体实测优化的高级气体建模功能
• 压力变化补偿 (PTI) 技术
• 高清晰度的可旋转电子 LCD 显示屏能够本地显示流量、温度、压力和网络地址
• DeviceNet™、RS-485 和模拟接口