特点
- 流量响应时间（完成时间）<0.75 s
- MEMS 传感器和 PID 算法
- 尺寸小巧，不足常规热式MFC的 一半：1” x 3”x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
- 本地操作界面 (LOI) 选项可简化设置和操作；免费提供 LabVIEW VI 下载以进行设备监测和调零
- 通过 RS-232 实现数字化功能
| 4850 | 4860 | |
| 产品类型 | Mass Flow Controller | Mass Flow Meter |
| 流量范围-满量程容量 | 50 sccm – 40 slpm | 50 sccm – 40 slpm |
| 精度 | 3.0% F.S.
1.0% F.S. (optional) |
3.0% F.S.
1.0% F.S. (optional) |
| 重复性 | 0.15% F.S. | 0.15% F.S. |
| 响应时间-常闭 | Normally Closed Valve: 300 ms – <1 sec | Normally Closed Valve: 300 ms – <1 sec |
| Z大压力 | 150 psig/10 barg | 150 psig/10 barg |
| 诊断能力 | Status Lights: MFC Health, Network Status
Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack |
Status Lights: MFC Health, Network Status
Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack |
| 模拟通讯 | 0-5 Vdc 4-20 mA |
0-5 Vdc 4-20 mA |
| 数字通讯 | RS232 | RS232 |
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